一、电子洁净车间空调净化系统主要形式
电子洁净车间空调净化系统主要有以下几种形式:
1、垂直单向流集中送风方式;
2、风机过滤单元送风方式;
3、隧道送风方式;
4、非单向流送风加层流罩送风方式;
5、微环境方式。
这几种形式的特点:
垂直单向流集中送风:活动区与生产区同处一室,面积可很大,活动自由,灵活性大正压顶棚,不利密封
风机过滤单元:同垂直单向流集中送风,但噪声大耗能较多,不利于维修;负压顶棚,有利密封
隧道送风:活动区与生产区分开,有利于控制污染
非单向流加层流罩:局部操作区可实现较高洁净度(1S05级),自由度差,噪声大
微环境:生产区彻底被隔离,机械手操作,易实现其他方式难实现的高洁净度。
二、垂直单向流集中送风方式
集中送风方式是一种经典的方式。集中送风方式就是将多台空调净化机组集中设置在空调机房内。空调机房可位于洁净室的侧面,也可位于洁净室的顶层。垂直单向流集中送风方式可适用于大面积和洁净度级别高的洁净室。
三、风机过滤单元(FFU)方式
风机过滤单元方式也是集中送风,在最近若干年获得大的推广该方式灵活性更大。这种送风方式将新风与回风的混合风由单元机组送到洁净室,再从回风静压室经两侧夹道回至送风静压箱与新风混合。这种方式由于不需要大的空调机房,送风静压箱内的空气处于被风机过滤单元中的风机抽吸的状态,所以箱内呈负压,因此有利于防止过滤器边框的泄漏。但是单元台数太多,一台一个电机,发热量全散在顶棚中,给制冷带来过大的负荷。台数多,叠加噪声大,不便于维修。
如果车间跨度很大,新风口开在一侧或两侧不足以使处理过的新风较均匀地分配到每个FFU,回风也有这种现象,此时也可能要设必要的新风管道,进入纵深。当风机过滤单元满布时,其外壳强度应满足上人要求。
由于风机过滤单元只负责空气循环及其净化处理,不能处理循环风的热负荷(湿负荷由新风兼管),所以必须在循环通路上如夹墙内设冷却装置。为防潮湿滋生细菌,此冷却装置应为干表冷器,其进水温度应高于洁净室露点温度,其迎面风速不能太大,要使产生的阻力可为风机过滤单元的风机余压所克服。为防还有一些凝结水产生,必须考虑适当的排水措施。不能在夹墙或下技术层安装干表冷器时,也有使部分回风回到大机组的做法。
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