对于电子厂洁净厂房设计来，由于在生产某些产品的过程中，会产生有害气体，我们不能直接将这些气体排放到大气中，必须经过处理后排放，下面笔者就谈下电子厂洁净厂房有害气体排放设计。

一、有害气体种类

1、含酸类废气

主要来源于化学清洗工作中产生的挥发性气体。

2、含碱类废气

主要来源于化学清洗工作中产生的挥发性气体。

3、毒性废气

如含磷、硼、镓、砷以及四氯化硅等的废气，主要来源于化学气相沉积干蚀刻机、扩散、离子植入等工序。

4、工艺尾气

如含H2、O2等工艺尾气。

5、含有机溶剂废气等

生产过程中会使用多种有机物，如乙氧基全氟丁烷、全氟三丙基胺、全氟三丁基胺、全氟乙烷、丙二醇单甲基醚、异丙醇、乙醇、丁酮、丙酮、环己酮、乙醛等。这些有害物质一则污染外环境的大气，二则在进入空调系统后，对生产进一步造成危害，所以必须处理。

二、处理措施

对含酸、碱气体可用湿式淋洗方法处理，可直接用水，或用其他化学溶液如氨水、氢氧化钠溶液进行中和。

对含砷（如三氯化砷）、磷（如三氯化磷）等的废气，可喷进酸、碱溶液吸收，其中50％氢氧化钠对PCl3吸收效果好，但对AsCl3的效果不理想。对含砷化氢（AsH3）的气体可用饱和高锰酸钾溶液喷淋吸收。对含四氯化硅（SiCl4）的尾气可直接淋水进行水解。其他工艺尾气如氮气、氧气、氨气、硅烷等也可淋水吸收。

也可用加热（燃烧）兼水洗方法去除有害气体对于未处理的或反应剩余的可燃性气体如氢气、硅甲烷，可利用加热（燃烧）方式将其高温氧化；若为有毒有腐蚀性或易爆气体，可溶于水的，利用冷水洗涤冷却。

还可用活性炭加添加剂的化学过滤器处理有害气体。也可用化学吸附方式将有害气体吸附至金属罐中，通过压力或出口浓度传感器，检测吸附剂是否饱和，定时更换吸附剂。

还可用沸石浓缩转轮加直燃式焚化系统，使废气经过一浓缩转轮浓缩，浓缩倍率可提高10倍，再将高浓度的有机废气送人燃烧机燃烧后排放，因此燃烧机的大小可为原来的1/10。后段燃烧分解效率可达99％通过转轮机的气体速度以不超过2m/s最佳。此种方式由于完全燃烧而无二次污染。

三、淋水式处理

淋水式是一种传统的经典方法，利用水洗方法将可溶于水的废气及粉尘水洗清除。部件有喷嘴、水泵、加碱设备及pH值分析器、进出口压力敏感元件、流量敏感元件、控制监视装置等。

四、化学过滤器处理送风和回风

化学过滤器在系统中有以下配置方案：

1、设于新风处理机组内，消除新风带入的污染；

2、于回风空调机组内，消除生产中所产生的污染以节约新风量及其他空调负荷；

3、与FFU结合控制送风气流的洁净；

4、与微环境结合，设于生产设备近端以保证生产质量。

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