采用洁净室技术，对受控微环境进行污染控制以达到所要求的空气洁净度，需采取多种综合技术措施。这些技术措施包括：1采用符合洁净室要求的材料建造洁净室。2选用符合洁净室要求的设备。3采用闭密、隔离或排尘等措施有效控制污染物的扩散。4采用压差控制措施。5采用合理的人净、物净措施。6采用符合洁净度要求的气流组织形式等。

1.采用符合要求的材料建造洁净室

洁净室的污染控制是一项系统工程，需多种措施有效配合，才能以最小的代价来达到最有效的污染控制。洁净室的墙壁、地面、顶棚应不产尘、少积尘、不易孳生细菌、无接缝或少接缝且接缝应严密。符合要求的材料有彩钢夹芯复合板、电解钢板加抗菌涂层、人造石材板等。地面材料有环氧树脂自流平地面、PC防静电地板、高级水磨石地面等。

2.选用符合洁净室要求的设备

这项工作由工艺专业完成。目前的情况是：有相当比例的工艺设备不符合洁净室的要求，表现为表面凹凸不平、易产尘积尘、污染环境。可在设备安装后，在不影响使用的情况下，用不锈钢板进行装饰，使其表面平整、光洁。

3.采用压差控制措施

根据洁净度的高低、工艺设备的产尘情况，利用压差有效控制污染。一般情况下，气流应从洁净度高的洁净室向洁净度低的洁净室渗透。对于产生污染的洁净室，除采取防止污染扩散的措施外，应使该洁净室处于相对负压的状态，以防污染邻室。

4.采用合理的人净、物净措施

配合建筑设计专业，合理设计人流、物流通道，根据工艺要求，采用一更、二更甚至三更的人净方案。必要时需设置空气吹淋室吹掉洁净工作服上的浮尘。原材料的输入，产品输出，均需有很好的保护措施，如设置传递窗、传递通道。对输入原辅料进行外包吸尘、脱外包等工序。通过压差来控制输入、输出口气流流向，应使洁净区的静压比非洁净区高15Pa。

5.采用符合洁净度要求的气流组织形式

这是空气净化的核心措施。采用过滤的方法（至少三级：粗效、中效、高效或亚高效），使送风气流洁净。在非单向流洁净室中，通过合理布置送风口及回风口，靠洁净送风气流的扩散、稀释作用，把污染物稀释后从回风口排出。保持洁净室的悬浮粒子浓度在要求的范围内。在单向流洁净室中，靠洁净送风气流“活塞”般的平推作用，把污染物从回风口“压”出。

近年来，有些产品的生产要求精密化及高纯度，除需要控制微环境中的微粒污染外，还需要控制其分子污染。为此，在这些洁净室的空气处理系统中还应设置化学过滤器、吸附过滤器及吸收装置。